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愛德華干式真空泵介紹1
愛德華干式真空泵介紹(應用于新能源行業晶體太陽能電池制造行業)
IH 干泵
晶體太陽能電池制造中苛刻工藝應用(例如LPCVD,PECVD)的**選擇
具有優異的粉塵處理能力,冷凝物更少
功耗更低,占用空間更小,零維護
抽氣能力范圍:51-589立方英尺/分鐘(86-1800立方米/小時)
GV干泵(常見型號:愛德華GV250、GV160、GV600)
**的粉塵和顆粒處理能力,氣路短,分級壓縮,能效高
必要時可以與機械增壓泵系列中任何一種組合使用,將抽氣速率提升至2425立方英尺/分鐘(4200立方米/小時),并獲得更低的真空度。
多級羅茨和/或爪式機構使真空度達到0.023托(0.03毫巴)
多級羅茨和/或爪式機構組合,抽氣速率范圍:47-330立方英尺/分鐘
(80-560立方米/小時)
應用范圍:拉晶、層壓和PECVD(作為iH系列的代替品,這應當是**選擇)
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